近日，在蘭州市組織的首次“十大科技項目”和“十大科技創(chuàng)新項目”的遴選活動中，510所承擔(dān)的“高精度寬量程超高真空計”以較強的引領(lǐng)示范性、經(jīng)濟社會效益、支撐產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展等方面的能力，通過層層選拔正式入選蘭州市“十大科技項目”和“十大科技創(chuàng)新項目”，并獲得100萬元經(jīng)費支持。

超高真空計是離子加速度器、核聚變、表面工程、半導(dǎo)體技術(shù)等領(lǐng)域必須的超高真空測量儀器，但目前國內(nèi)產(chǎn)品無法滿足應(yīng)用要求，國外高端產(chǎn)品占據(jù)主要市場份額。目前，國內(nèi)真空測量儀器下限僅為10-7Pa，510長期從事超高真空測量工作，對于超高真空測量下限延伸、fA級微弱信號采集處理等多項關(guān)鍵技術(shù)已形成了相關(guān)自主知識產(chǎn)權(quán)，在本項目中，510所將開展真空規(guī)管和控制單元工藝優(yōu)化設(shè)計，研制測量范圍10-9 Pa—10-2Pa的高精度寬量程超高真空計樣機，達到國內(nèi)最高水平，與國際同類產(chǎn)品達到同等技術(shù)水平，將填補國內(nèi)技術(shù)空白，替換國外高端產(chǎn)品，占據(jù)國內(nèi)高端真空測量儀器市場。

在“中國制造2025”大力倡導(dǎo)核心制造裝備國產(chǎn)化的大背景下，開展高精度寬量程超高真空計的產(chǎn)品化研究后，將大幅提升我國真空計量檢測能力，對于真空裝備制造業(yè)體制增效、推動我國經(jīng)濟發(fā)展保持中高速增長，邁向中高端水平，具有重點的現(xiàn)實意義。